滑閥式真空泵的抽氣原理與旋片泵相似，但兩者結構不同�；y式真空泵是利用滑閥機構來(lái)改變吸氣腔容積的，故稱(chēng)滑閥泵。
滑閥泵亦分單級泵和雙級泵兩種，有立式和臥式兩種結構形式。單級泵的極限壓力為0.4～1.3Pa；雙級泵的極限壓力為6×10-2 —10-1Pa。一般抽速超過(guò)150L/S的大泵都采用單級形式。這種泵可單獨使用，也可作其它泵的前級泵用。
1．工作原理
滑閥泵的結構主要由泵體及在其內部作偏心轉動(dòng)的滑閥、半圓形的滑閥導軌、排氣閥、軸等組成(見(jiàn)圖1)。
圖1：滑閥式真空泵結構原理圖
泵體中裝有滑閥環(huán)(4)，滑閥環(huán)內裝有偏心輪(3)，偏心輪固定在軸(2)上，軸與泵體中心線(xiàn)相重合。在滑閥環(huán)上裝有長(cháng)方形的滑閥桿(5)，它能在半圓形滑閥導軌(7)中上下滑動(dòng)及左右擺動(dòng)，因此泵腔被滑閥環(huán)和滑閥桿分隔成A、B兩室。泵在運轉過(guò)程中，由于A(yíng)、B兩室容積周期性地改變，使被抽氣體不斷進(jìn)入逐漸增大容積的吸氣腔；同時(shí)，在排氣腔隨著(zhù)其容積的縮小而使氣體受壓縮，并通過(guò)排氣閥排出泵外。
雙級型的滑閥泵，實(shí)際上是由兩個(gè)單級泵串聯(lián)起來(lái)的。它的高、低真空室在同一泵體上，有的是直接鑄成一個(gè)整體，有的是壓入中隔板把泵腔分成高、低兩室。
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