往復式真空泵所吸入的氣體壓強遠遠低于絕對大氣壓，因此須在壓縮比很大的情況下操作.
余隙中殘留氣體的影響很大，通常認為往復式真空泵的余隙必須<3%。為減少余隙氣體的影響，真空泵在結構上做了專門處理。即在真空泵壁上設置了平衡通道.當活塞排氣過程剛完成時，便能連通平衡通道。使余隙中部分氣體流至活塞另一側，降低余隙氣體的壓力.提高生產能力。
另外，真空泵的吸氣閥、排氣閥與往復式壓縮機相比.由于氣缸內外壓差小，要求啟閉的阻力更小，所以采用與活塞運動配合嚴密的滑塊機構，這樣可以提高泵的效率.
往復式真空泵的真空度越高，則吸氣壓強的絕對氣壓就越小.因而在一定容積的氣缸中能吸入的氣量就越少，所以當吸氣量增大時，真空度必然下降。為了保持一定的真空度使生產不受影響，要求真空管道系統不漏氣，設備不泄漏。
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